VEpioneer 시리즈

• 완전히 통합된 원터치 벤치탑 하이퍼스펙트럼 비전 시스템으로, 개봉 후 바로 사용 가능
• 단일 측정으로 비파괴, 전체 표면(100%) 검사 가능
• 10초 미만의 빠른 측정
• 층 재질에 따라 1nm~500µm의 층 두께 감지
• 결함, 오염 및 표면 특성에 대한 공간 분해능 인식
• 반도체, 금속, 폴리머, 세라믹, 유리 등 다양한 기판과 호환
• VEsolve^® pro 소프트웨어를 통한 중앙 집중식 제어 및 평가

VEpioneer 매크로

• 거시적 검사를 위해 설계된 소형 벤치탑 시스템
• 최대 360 × 360 mm 크기의 시료 수용 가능
• 100~300 µm의 공간 분해능 및 고해상도 스캔 모드 지원
• 맞춤형 시료 스테이지 및 다양한 커스터마이징 옵션

VEpioneer micro

• 현미경 검사에 최적화된 벤치탑 시스템
• 현미경 렌즈에 따라 서브 마이크론 수준의 공간 분해능 달성
• 최대 130 × 130 mm 크기의 시료 처리 가능
• 유연한 작동: 조이스틱을 통한 수동 제어 또는 소프트웨어를 통한 완전 자동 제어

VEpioneer 코어

• 세계에서 가장 작은 완전 통합형 하이퍼스펙트럴 비전 벤치탑 시스템
• 단 12kg에 불과하며 230 × 200 mm의 초소형 설치 공간
• 최대 100 × 100 mm 크기의 시료에 최적화되어 설계됨
• 100 µm의 공간 분해능을 제공하여 하이퍼스펙트럼 검사의 입문용으로 이상적 

VEpioneer semi

• 통합형 층류 FFU가 장착된 클린룸 호환 버전 (ISO 클래스 3)
• 거시적 웨이퍼 검사를 위해 설계되었으며, 200mm 및 300mm 웨이퍼 지원
• 안전하고 오염 없는 취급을 위한 3점 웨이퍼 홀더 장착
• 300 µm부터 시작하는 공간 분해능, 고해상도 스캔 모드 지원