Vapor Phase Decomposition
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Die Anforderungen an die Reinheit von Materialien und Prozessen in der Silizium- und Verbindungshalbleitertechnologie werden immer…
Ellipsometrie
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Ellipsometrie ermöglicht eine präzise Charakterisierung von Dünnschichtsystemen, indem Änderungen des Polarisationszustand des reflektierten Lichts gemessen werden.…
Scanning InfraRed Depolarization
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Die Spannungsmessung auf Wafer-Ebene ist eine etablierte Technologie zur optischen, zerstörungsfreien und kontaktlosen…
Scanning Acoustic Microscopy
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Die akustische Mikroskopie bietet den einzigartigen Vorteil, die innere Struktur eines Materials zerstörungsfrei zu untersuchen – wie etwa…
Wafer Inspection
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Wafer Inspection ist der Prozess der systematischen Prüfung von Wafern auf Spannungsfelder und Defekte, der Messung von Schichtdicken sowie der Charakterisierung…